去胶清洗机 采购信息公示

一、项目概况

（一）项目编号：****

（二）项目名称：去胶清洗机

（三）项目内容及需求：

1、数量：1台

2、交期：90日历天

3、技术要求：

主要用于CMOS完成MEMS制程后将单片PI去除的工艺，并能够实现自动上下料，可以配合其余机台完成全自动线工艺。

(1)具备连线功能的相关描述；

(2)刻蚀模式：ICP/微波；

(3)上下料：满足全自动上下料同时支持手动上下料功能，工艺流程：自动挑片机-上料口-自动释放机台-下料口-自动AOI机台；

(4)下料后可以自动转运到下一制程机台：自动AOI机台

(5)生产产品尺寸：在10*10mm-30*30mm之间均能兼容（附芯片载盘图纸：LYE底板）；

(6)基本需求：能将PI完全去除无残留，同时不影响产品结构，像元无塌陷，倾斜，磨砂等外观不良。

(7)机台数据：针对PI的刻蚀速率＞5000 /min，腔体各位置PI刻蚀速率均一性＜5%；机台可以满足低温去胶工艺（工艺温度＜180℃）；芯片完成去胶工艺后电阻降幅＜10%；

(8)腔体内各位置温度均一性＜5%（温度在200℃）；机台最高温度可以达到350℃。

其他要求详见标书

二、资格要求

（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：

1、具有独立承担民事责任的能力。

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。

3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。

4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。

5、法律、行政法规规定的其他条件。

6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重**全生产事故的声明。

7、未被列入“信用中国”网站(www.****.cn )失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”（www.****.cn ）政府采购严重违法失信行为记录名单，提供网上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。

（二）特定资格要求：

1、参与企业必须为货物的生产厂家或代理商，代理商必须持有生产厂家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书。

2、本次招标不接受联合体投标。

三、供应商资料递交截止时间和地点

（一）公众号二维码报名截止时间：2025-04-20 17:00

（二）投标报名资料：营业执照、代理证（如有）、3年内同类项目销售业绩清单及证明文件****公司资料；

（三）报名资料请递交电子邮箱：****@guide-infrared.com，并抄送至****@guide-infrared.com。 截止时间2025-04-20 17:00

四、联系事项

采购联系人：冯莎莎 电话：159-2709-2964

技术联系人：黄亮 电话：130-0634-2026

电话：027-****8317

邮箱：****@guide-infrared.com

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